기업소개

• 주요사업 ㈜에프에스티는 1987년에 설립되어 반도체 및 FPD 관련 Photomask 보호막인 Pellicle, 장비의 온도 또는 습도를 Control 하는 chiller 및 관련 장비, 제조 불량 검사장비를 자체 개발 제조하는 전문기업입니다. 주요 사업부문은 Pellicle, Chiller, 검사장비로 구성되어 있습니다. 주력 제품인 Pellicle은 Photomask를 이물질로부터 보호하는 역할을 하며, Chiller는 반도체 공장에서 설비 내의 온도 조건을 안정적으로 제어하는 역할을 합니다. 주된 고객사는 삼성전자, SK하이닉스, LG이노텍, Micron, Intel 등을 확보하고 있습니다.

• 보유기술 Pellicle 사업 Pellicle은 특정 파장에서 높은 투과율을 유지하면서 노광 공정 중 포토마스크가 오염되지 않도록 보호하는 막입니다 TCU 사업 Chiller는 다양한 열교환 시스템을 통해 반도체 및 FPD 생산 공정 중 고정밀 온도 제어를 제공합니다. 스크러버는 공정장비로부터 발생하는 여러 종류의 유해 배기가스를 대기 환경 기준에 따라 적정 기준치 이하로 처리하여 배출시키는 장치입니다 APS 사업 APS사업은 지속적인 선행 연구개발 활동과 동시에 고객사에서 제품 개발 및 공정에 필요로 하는 정밀 공정제어, 검사&계측 솔루션을 제공하고 있습니다 EUV 공정에 필요한 Infrastructure tools을 자체 생산/개발 완료하였으며 고객사 공정 상황에 맞도록 customization이 가능합니다